扫描透射电子显微镜(scanning transmission electron microscopy,STEM)既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的显微镜。STEM用电子束在样品的表面扫描,通过电子穿透样品成像。STEM技术要求较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。